半導體“陶瓷心”，泰興“智造”！

在集萃半導體陶瓷材料研究所的陶瓷超精密加工室，技術人員正專注加工陶瓷靜電卡盤。該產品是半導體制造設備中的關鍵零部件，以往長期被國外企業壟斷。研究所不僅積極自主研發，還參與國家相關重大科技項目，目前已成功突破多項關鍵技術。

研究所總投資1.1億元，由省產研院、泰州市產研院、清華大學潘偉教授團隊及泰興高新區共同投資建設，聚焦先進陶瓷技術的研發與產業化應用。核心團隊依托清華大學新型陶瓷和精細工藝國家重點實驗室，在“先進結構陶瓷材料研究”和“精密陶瓷部件制備技術”方面處于國內領先水平，已為國內廠商實現部分精密先進陶瓷部件的進口替代。